牺牲层腐蚀仿真软件模块
发布日期:2010/4/12 8:42:32
查看次数:次
“牺牲层腐蚀仿真软件模块”适用于WiN2000,WinXP操作系统。这是一个仿真牺牲层腐蚀过程的应用软件。软件自身提供了Thermal–GrownSilicon、LPCVDLTO、LPCVDPSG三种不同牺牲层材料,以及HF、BHF、HF加HCl三种不同腐蚀液的仿真库。此外,软件还提供了根据用户在短时间内测得的三组实验数据输入界面。在任意温度和浓度条件下,对一些基本结构(Port、Bubble、Concentriccircle)及组合复杂结构的腐蚀过程进行仿真计算,并将仿真结果用图表形象地表示出,同时能够输出腐蚀长度与腐蚀时间一一对应的数据库文件,便于用户进行数据分析。通过软件仿真计算,能够较准确的预测在一定腐蚀液、牺牲层材料、温度、浓度条件下,一些具体结构的腐蚀长度及形状与腐蚀时间的对应关系。经实验验证,该软件提供的仿真结果与实验误差不大于5%。