精密表面轮廓(粗糙度)仪
发布日期:2010/4/12 8:55:16
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精密表面轮廓仪采用激光干涉原理非接触测量方式,可测量各类导体及非导体超光滑表面的粗糙度、微观结构等。仪器无需严格隔振,可用于车间现场进行精密测试;仪器采用非接触无损测量,可避免接触测量的弊端,不会损伤被测表面,所以适合于测量各类精加工、抛光的光学元件、硅片、金属尤其是软质材料表面的粗糙度及疵病;仪器利用计算机控制对被测面进行自动扫描采样及数据图象处理并自动显示被测二维(三维)轮廓。对各类样品测试表明仪器的纵向分辨率为0.1nm,横向分辨率为 0.5mm。
仪器采用非接触测量方式,可测量各类导体及非导体超光滑表面的粗糙度、微观结构等;利用计算机人机对话、控制整个测量,速度快、测量方便;系统利用可视化编程软件,界面美观、直观、易操作;数据处理系统功能齐全,采样后可直接显示表面微观结构的二维(三维轮廓)粗糙度及Ra, Rq, Rz, Ry等粗糙度基本评估参数及粗糙进行数据结果的表格处理。直接打印表面粗糙度的粗糙度数据;并可根据用户要求增加或改进某些特殊要求的功能。