通辽科技大市场暨内蒙古东部常设技术市场

设备名称：原子力显微镜 

仪器型号：Innova 

所属单位：西安交通大学-机械制造系统工程国家重点实验室 

设备原值：59 万元 

制造厂商：美国VEECO 

生产国别：美国 

当前状态：对外服务 

仪器设备详细指标 

主要技术指标 技术参数 1. 闭环扫描管：XY>90μm，Z>7.5μm 2. 开环扫描管：XY>5μm, Z >1.5μm 3. 样品尺寸： X-50 mm x Y-50mm x Z-18 mm 4. 电动Z 轴载物台：Z 轴行程： 18mm 5. 光学系统： 摄像头： 轴线彩色CCD，带电动变焦 6. 视场： 1.24mm x0.25mm (电动变焦，10x 物镜) 7. 分辨率： <2μm，标准10x 物镜(50x 物镜<0.75μm) 8. 电子电路：20 位DAC 控制器，100kHz、±10v ADCs，数字反馈器件主要特点 1. 独有的闭环扫描控制，在开环噪声水平上提供三维精确测 2. 高分辨光学系统辅助精确探针定位 3. 快速更换探针, 开放的样品台设计使得使用更方便，更容易 4. 拥有所有SPM 操作模式，为科学研究提供更高的应用灵活性 5. 卓越的信号读录与输入功能便于用户自己设计研究方法  

功能/应用范围 气相和固体微结构测试，表面形貌，表面摩擦力影像分析，薄膜表面粗糙度检测，Innova SPM 扫描探针显微镜以其高分辨率和出色的品质，广泛应用于物理、生命科学和材料科学等诸多领域。  

服务领域  农/林/牧/渔  轻工/纺织  石油/石化  食品/烟草  地质/矿产  矿业/冶金  钢铁/有色金属  水文气象  非金属/珠宝  橡胶/塑料(材料)  通信/邮政  机械制造  医疗/卫生  生物/医药  地质勘探  电气工程  仪器/仪表  航空/航天  电子/信息技术  交通/运输(公路/铁路)  环保/水利/气象/天文  其它   

技术特色   

服务情况及收费标准 

对外服务(平均机时/年)   

收费标准（元/样品）   

联系方式 

联系人 薛瑞  

联系电话 029-83395005  

传真 029-83395005  

电子邮件 xuerui123@mail.xjtu.edu.cn