通辽科技大市场暨内蒙古东部常设技术市场

设备名称：纳米压印机 

仪器型号：无 

所属单位：西安交通大学 

生产国别：中国 

当前状态：对外服务 

仪器设备详细指标 

主要技术指标 压印面积：4寸（130mm×130mm）压印精度：小于50纳米机械运动定位系统包括：宏工作台运动系统，X,Y方向重复定位精度1um；微动工作台，X,Y方向重复定位精度10nm；纳米压印控制系统：宏驱动X,Y方向行程分别为250mm，步进为1um；PZT微驱动最小步进为2nm; 光学对准系统：包括了两个CCD摄像头，用于纳米多层压印时的对准  

功能/应用范围 面向45nm及以下超大规模集成电路光刻，进行纳米压印光刻工艺、材料及装备研究与开发。  

服务领域  农/林/牧/渔  轻工/纺织  石油/石化  食品/烟草  地质/矿产  矿业/冶金  钢铁/有色金属  水文气象  非金属/珠宝  橡胶/塑料(材料)  通信/邮政  机械制造  医疗/卫生  生物/医药  地质勘探  电气工程  仪器/仪表  航空/航天  电子/信息技术  交通/运输(公路/铁路)  环保/水利/气象/天文  其它   

技术特色   

服务情况及收费标准 

对外服务(平均机时/年)   

收费标准（元/样品）   

联系方式 

联系人 高崐  

联系电话 18792539151  

传真 029-83395052  

电子邮件 jhw@mail.xjtu.edu.cn