台阶轮廓测量仪
发布日期:2015/3/25 14:53:16
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设备名称:台阶轮廓测量仪 

仪器型号:XP-2 

所属单位:西安交通大学 

制造厂商:AMBIOS 

生产国别:美国 

当前状态:对外服务 

仪器设备详细指标 

主要技术指标 测试台阶厚度范围:100A~400 UM;测试精度:5个数量级以上;探头力的范围:0.05-10MG(静磁力系统);样品厚度:1.25inches;样品直径:200mm  

功能/应用范围 用于测量轮廓、台阶高度、膜厚、薄膜应力主要应用领域: 光电子器件、半导体器件、薄膜工艺、厚膜工艺   

服务领域  农/林/牧/渔  轻工/纺织  石油/石化  食品/烟草  地质/矿产  矿业/冶金  钢铁/有色金属  水文气象  非金属/珠宝  橡胶/塑料(材料)  通信/邮政  机械制造  医疗/卫生  生物/医药  地质勘探  电气工程  仪器/仪表  航空/航天  电子/信息技术  交通/运输(公路/铁路)  环保/水利/气象/天文  其它   

技术特色   

服务情况及收费标准 

对外服务(平均机时/年)   

收费标准(元/样品)   

联系方式 

联系人 高崐  

联系电话 18792539151  

传真 83395052  

电子邮件 jhw@mail.xjtu.edu.cn  



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