通辽科技大市场暨内蒙古东部常设技术市场

设备名称：深干法刻蚀机 

仪器型号：Oxford PlasmalabSystem100  

所属单位：西安交通大学 

设备原值：380 万元 

制造厂商：Oxford  

生产国别：英国 

当前状态：对外服务 

仪器设备详细指标 

主要技术指标 电感耦合等离子体刻蚀（ICP）与反应离子刻蚀（RIE刻蚀）模式。可进行低温硅刻蚀，深硅刻蚀和SOI工艺。 

功能/应用范围 无  

服务领域  农/林/牧/渔  轻工/纺织  石油/石化  食品/烟草  地质/矿产  矿业/冶金  钢铁/有色金属  水文气象  非金属/珠宝  橡胶/塑料(材料)  通信/邮政  机械制造  医疗/卫生  生物/医药  地质勘探  电气工程  仪器/仪表  航空/航天  电子/信息技术  交通/运输(公路/铁路)  环保/水利/气象/天文  其它   

技术特色   

服务情况及收费标准 

对外服务(平均机时/年)   

收费标准（元/样品）   

联系方式 

联系人 王久洪  

联系电话 13201543166  

传真 83395052  

电子邮件 jhw@mail.xjtu.edu.cn