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一种可区分晶面的碳化硅晶体
发布日期：2023/5/11 10:02:51
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[实用新型] 一种可区分晶面的碳化硅晶体

授权公告号：
CN218989480U
授权公告日：
2023.05.09
申请号：
2021208738349
申请日：
2021.04.26
专利权人：
山西烁科晶体有限公司
发明人：
戴鑫;魏汝省;李斌;毛开礼;李天;范云
地址：
030006山西省太原市综改示范区太原唐槐园区唐槐路5号
分类号：
C30B29/36(2006.01)I; 全部
摘要：

本实用新型公开了一种可区分晶面的碳化硅晶体，涉及碳化硅单晶制备技术领域；所述晶体的上或下表面为碳面，相对另一面为硅面；碳面和硅面之间为晶体本体，所述晶体本体的侧面设置有刻制的标识结构，所述标识结构的刻制深度为10‑50μm，标识结构用于区分碳面和硅面；本实用新型通过在晶体的侧面通过刻痕的形式设置标识结构，不易在生产加工的过程中消除或引入杂质污染，且可以方便快速的对晶锭或晶片两个晶面进行区分，提高了加工生产的效率；解决了碳化硅晶锭/片及加工过程中碳化硅晶锭/片晶面易混淆，无法识别的问题。

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