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能够充入氮气的半导体智能仓储
发布日期：2024/3/6 9:19:25
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[实用新型] 能够充入氮气的半导体智能仓储

授权公告号：
CN220555482U
授权公告日：
2024.03.05
申请号：
2023214743362
申请日：
2023.06.10
专利权人：
苏州艾斯达克智能科技有限公司
发明人：
沙伟中
地址：
215000江苏省苏州市苏州高新区泰山路2号和枫产业园中试创业基地A栋101室
摘要：

本实用新型公开了一种能够充入氮气的半导体智能仓储，该智能仓储包括一个密封的仓储空间、一个气体排出通道、一个外部氮气补入装置、一个监控装置和一个安全装置。该智能仓储能够将仓储空间内的空气排出并充入纯净的氮气，以防止存放在其中的半导体晶圆片被氧化，提高晶圆片的质量和寿命。该智能仓储还能够监控和调节仓储空间内的氮气含量、温度和压力，并在发现异常时发出报警信号和关闭相应的装置，以保障仓储空间的安全性和人员的健康。该智能仓储还设有多个晶圆片存放架和一个堆垛机，以实现晶圆片的分层存放和自动化入库和出库。

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