[实用新型] 万向调节的晶圆目检工装

摘要：: 本实用新型提供了一种万向调节的晶圆目检工装，万向调节的晶圆目检工装用于放置在操作平面上，包括：转向机构，转向机构相对于操作平面的位置稳定，转向机构的至少一部分能够绕垂直于操作平面的轴转动，转向机构的至少另一部分能够调节与操作平面的夹角；支撑机构，支撑机构固定在转向机构的顶部，以使转向机构带动支撑机构移动，支撑机构具有安装空间；翻转机构，翻转机构设置在安装空间内，翻转机构具有转轴，翻转机构的至少一部分能够绕转轴转动并在任意角度悬停，翻转机构具有安装面；晶圆载台，晶圆载台可拆卸地安装在安装面上，晶圆载台用于放置待检晶圆。本实用新型解决了现有技术中晶圆检测多角度检测困难并且容易损伤晶圆的问题。

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